深圳單片機(jī)開(kāi)發(fā)方案公司英銳恩為你帶來(lái)芯資訊—中國(guó)單片機(jī)芯片產(chǎn)業(yè)設(shè)備繞過(guò)了相關(guān)知識(shí)產(chǎn)權(quán)壁壘，國(guó)內(nèi)首臺(tái)超分辨力最高紫外超分辨光刻裝備誕生了。中科院光電所研發(fā)出這一臺(tái)突破傳統(tǒng)的光刻機(jī)，對(duì)單片機(jī)芯片產(chǎn)業(yè)來(lái)說(shuō)是一次嘗試性的邁進(jìn)。

  此次通過(guò)驗(yàn)收的表面等離子體超分辨光刻裝備，打破了傳統(tǒng)路線格局，形成了一條全新的納米光學(xué)光刻技術(shù)路線，具有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，為超材料/超表面、第三代光學(xué)器件、廣義芯片等變革性領(lǐng)域的跨越式發(fā)展提供了制造工具。光刻分辨力達(dá)到22納米，結(jié)合多重曝光技術(shù)后，可用于制造10納米級(jí)別的芯片。

  光刻機(jī)在365納米光源波長(zhǎng)下，單次曝光最高線寬分辨力達(dá)到22納米。項(xiàng)目在原理上突破分辨力衍射極限，建立了一條高分辨、大面積的納米光刻裝備研發(fā)新路線，繞過(guò)了國(guó)外相關(guān)知識(shí)產(chǎn)權(quán)壁壘。

  光刻機(jī)是制造芯片的核心裝備，采用類似照片沖印的技術(shù)，把一張巨大的電路設(shè)計(jì)圖縮印到小小的芯片上，光刻精度越高，芯片體積可以越小，性能也可以越高。但由于光波的衍射效應(yīng)，光刻精度終將面臨極限。

  單片機(jī)芯片產(chǎn)業(yè)的生產(chǎn)過(guò)程中是需要不斷提高光刻精度的，這是全球的技術(shù)升級(jí)問(wèn)題。深圳單片機(jī)開(kāi)發(fā)方案公司英銳恩為中國(guó)取得這一突破萬(wàn)分激動(dòng)，同時(shí)也激勵(lì)著英銳恩不斷突破前進(jìn)，做有價(jià)值的芯方案解決商。